2025年8月20日，我司（東莞市晟鼎精密儀器有限公司）完成的《半導體用RTP快速退火爐裝備開發及產業化》經廣東省測量控制技術與裝備應用促進會、廣州市儀器儀表學會組織權威專家鑒定，項目成果具有創新性，總體技術達到國際先進水平，在半導體晶圓多區脈沖雙腔退火工藝達國際領先。

 01：核心創新與技術突破

*全自動雙腔快速退火爐系列

晟鼎針對集成電路和功率器件制造工藝中快速熱處理（Rapid Thermal Processing, RTP）的需求，開展半導體用RTP快速退火爐裝備關鍵技術研究，成功研制面向8英寸及12英寸晶圓生產線的雙腔全自動RTP快速退火爐產品，實現產業化。

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多區脈沖雙腔高溫退火控制系統

研發雙腔多區獨立控溫模塊，結合毫秒級脈沖加熱方案，大幅提升升溫/降溫速率與高溫均勻性，滿足高階晶圓制造對熱處理的高質量要求。

02

智能溫控與邊緣熱補償算法

通過在線溫度均勻測量與動態邊緣熱補償模型預測控制技術，有效校正晶圓邊緣熱損失，顯著改善傳統RTP設備邊緣溫度梯度問題，助力第三代半導體器件良率提升。

03

全自動雙腔裝備與超凈傳輸技術

采用SMIF防塵傳輸技術與輕量化高強度材料，結合高速伺服驅動系統，實現晶圓在超凈環境中的高速、穩定傳輸與處理，保障產線連續高效運作。

02：科研實力沉淀·產業化加速度

十余年磨劍，鑄就半導體快速退火爐國產化基石。

晟鼎立足國家戰略與客戶需求，深耕技術十三載，構建覆蓋全國及海外的7大服務分部和逾110人資深研發團隊，形成從理論創新到實踐落地的全鏈條攻堅能力。

目前，RTP快速退火爐設備已在多家行業龍頭產線穩定運行，通過實際驗證可顯著提升晶圓良率、降低生產能耗，以國際先進水平的技術實力持續驅動國產替代進程，為半導體產業創造經濟與生態雙重價值。

未來，晟鼎將持續深耕半導體高端裝備領域，以技術升級、創新驅動為核心競爭力，推動國產RTP設備在全球產業鏈的價值升級，助力中國"芯"智造！

03：關于晟鼎

晟鼎成立于2012年，是一家集研發、設計、生產、銷售及產業鏈服務為一體的專精特新“小巨人”企業。

為廣大客戶提供先進的半導體、消費電子、汽車、鋰電、光伏、FPD顯示等領域表面處理與檢測整體解決方案。

擁有行業內首家等離子實驗室，與華南理工大學創建半導體等離子應用技術聯合研發中心，是廣東省工程技術研究中心，目前已獲得國家授權專利180余項。